LT-9001H/出色分辨率/高精度表面扫描方式/基恩士

Z 轴扫描: 对音叉运用共焦原理，实现高精度测量。 X 轴扫描: 振荡模块产生巨大的扫描区域。实现更高的测量稳定性。
特性
高精度表面扫描方式
0.3 μm 的出色分辨率
快速轻松的设置功能
适用于各种应用的多种测量模式



型号
LT-9501H
LT-9001H
LT-9501HSO(5654)
LT-9001HSO(5655)
测量模块兼容性
测量模块无须工厂再校对即可互换
显示
较小显示单位
0.1 μm*1，1 μm2，0.01 °
0.1 μm*1
显示范围
±9，999.99 μm、±999，999 μm2、9，999.99 °
±9，999.99 μm
显微镜功能
有
―
有
―
显示周期
10 次/sec*2
终端模块
模拟输出
±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω
计时输入
无电压输入
复位输入
自动调零输入
显示器**电源为
24VDC*3
控制器I／O
判定模式
3 步进限制输出
适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出*4
二进位模式
二进制输出
测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形)
NPN 开路集电极输出*4
选通脉冲输出
NPN 开路集电极输出*4
二进制选择器输出
二进制选择输入
无电压输入*4
稳定性输出
NPN 集电极开路输出
激光遥控输入
无电压输入
程序切换输入
无电压输入 x 3 输入
RS-232C 接口
测量数据输出和控制输入和输出 (较高可选择 115,200 位/秒 波德率)
视频输出
符合 NTSC 系统 (针式连接头)
主要功能
位移模式
距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变*5
距离测量、通明物厚度测量、表面选
择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描
宽度/间隔改变*6
形状模式
面积选择 (平均数、较大、较小、较大至较小、
面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、
平滑、平均计算和形状数据输出*6
―*6
一般功能
光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、
校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择
额定
电源电压
100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz
额定值
功率消耗
较大 110 VA
环境抗耐性
污染等级
2
过电压类别
II
环境温度
0 至 +35 °C
相对湿度
35 至 85 % RH (无凝结)
重量
约 2.4 kg
*1 显示每 ±0.3 μm 的变化。
*2 根据设定而不同。
*3 监视器**电源由 KEYENCE *。
*4 限制模式和二进制模式选择其一。
*5 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定较大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*6 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定较大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。


技术规格(PDF) 








型号
LT-9011M
LT-9011
LT-9031M
LT-9031
类型
高精度型
长范围型
检测范围
±0.3 mm
±1.0 mm
参考距离
6 mm
30 mm
光源
类型
红色半导体激光
波长
655 nm
输出
170 μw (IEC 60825-1) /3.0 μw (FDA (CDRH) Part 1040.10)
激光分类
IIa 类激光产品 (FDA (CDRH) Part 1040.10)
1 类激光产品 (IEC 60825-1)
光点直径
约 ?2 μm
约 ?7 μm
扫描宽度/间隔
0 至 1,100 μm (6 步进) /1 至 10 μm (4 步进)
0 至 560 μm (6 步进) /1 至 8 μm (4 步进)
分辨率
0.3 μm*1
线性度
F.S. 的 ±0.5 %*1
F.S. 的 ±0.3 %*1
采样周期
640 μs 至 356 ms (14 步进)*2
640 μs 至 187 ms (14 步进)*2
显示
较小显示单位
0.1 μm*3，1 μm2，0.01 °
0.1 μm*3
显示范围
±9，999.99 μm、±999，999 μm2、9，999.99 °
±9，999.99 μm
显微镜功能
有
―
有
―
显示周期
10 次/sec*4
终端模块
模拟输出
±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω
计时输入
无电压输入
复位输入
自动调零输入
显示器**电源为
24VDC*5
控制器I／O
判定模式
3 步进限制输出
适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出*6
二进位模式
二进制输出
测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形)
NPN 开路集电极输出*6
选通脉冲输出
NPN 开路集电极输出*6
二进制选择器输出
二进制选择输入
无电压输入*6
稳定性输出
NPN 集电极开路输出
激光遥控输入
无电压输入
程序切换输入
无电压输入 x 3 输入
RS-232C 接口
测量数据输出和控制输入和输出 (较高可选择 115,200 位/秒 波德率)
视频输出
符合 NTSC 系统 (针式连接头)
显微镜功能
功能有无
兼容
N/A
兼容
N/A
视图栏
1.3 mm x 1.05 mm
―
2.5 mm x 2.0 mm
―
类型
有
无
有
无
照明光源
红外线 LED
(波长: 870 nm)
―
红外线 LED
(波长: 870 nm)
―
主要功能
位移模式
距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变*7
距离测量、通明物厚度测量、表面选
择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描
宽度/间隔改变*8
形状模式
面积选择 (平均数、较大、较小、较大至较小、
面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、
平滑、平均计算和形状数据输出*8
―*8
一般功能
光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、
校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择
温度特性 (20 至 30°C)
F.S. 的 ±0.5%
F.S. 的 ±0.25%
额定
电源电压
100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz
额定值
功率消耗
较大 110 VA
环境抗耐性
污染等级
2
过电压类别
II
环境光照
白炽灯/荧光灯：10,000 lux 以下
环境温度
0 至 +35 °C
相对湿度
35 至 85 % RH (无凝结)
重量
约 400 g
约 500 g
*1 测量的目标物是在位移模式下被测量的镜面表面物体，扫描宽度/间隔 120 μm/2 μm，和平均 8 次时的值。
*2 根据单个测量模式制造差异，取样周期也不同。当 FINE (精细) 模式设为 OFF (关闭) 时的值。
*3 显示每 ±0.3 μm 的变化。
*4 根据设定而不同。
*5 监视器**电源由 KEYENCE *。
*6 限制模式和二进制模式选择其一。
*7 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定较大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*8 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定较大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。



常将传感器的功能与人类5大感觉器官相比拟：
光敏传感器——视觉
声敏传感器——听觉
气敏传感器——嗅觉
化学传感器——味觉
压敏、温敏、
 
传感器（图1） 
流体传感器——触觉
敏感元件的分类：
物理类，基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。
化学类，基于化学反应的原理。
生物类，基于酶、抗体、和激素等分子识别功能。
通常据其基本感知功能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等**类（还有人曾将敏感元件分46类）。